測試與服務(wù)
掃描探針顯微鏡
發(fā)布時(shí)間：2020-01-08
1.設備信息：
型號：MFP-3D-SA
生產(chǎn)廠(chǎng)家：美國Oxford Instruments AFM Inc.
2.工作原理：
將一個(gè)對微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖尖端原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過(guò)在掃描時(shí)控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對應于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運動(dòng)。利用光學(xué)檢測法或隧道電流檢測法，可測得微懸臂對應于掃描各點(diǎn)的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。
3.主要技術(shù)指標：
納米壓痕載荷：最大載荷7 mN，
力學(xué)分辨率75 nN；
掃描范圍：XY: 90 μm。
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