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飛秒激光μFAB三維加工系統

發(fā)布時(shí)間:2019-12-18
 主要技術(shù)參數

1、激光源:             波長(cháng)400-1100nm, 光束直徑 5 mm (at 1/e2)

2、樣品上的光斑尺寸:    1 μm(使用顯微物鏡)和10-20 μm(使用簡(jiǎn)單透鏡)

3、激光功率控制:       計算機控制功率從OD0OD4

4、運動(dòng)系統:           最大運動(dòng)范圍(XYZ): 100mm x 100mm x 5mm

5、分辨率:             0.05 μm; XY軸最大運行速度: 300 mm/s

6、視覺(jué)系統:           使用軸反射光顯微鏡實(shí)時(shí)監測激光加工

7、用戶(hù)界面:           簡(jiǎn)單直觀(guān)的先進(jìn)激光加工軟件

 

功能及應用范圍

1、利用雙光子聚合技術(shù)進(jìn)行三維微加工,用于研究光子學(xué)、微電子學(xué)以及加工微機電元件

2、工業(yè)相關(guān)的材料(包括金屬、聚合物、半導體、玻璃、陶瓷及生物靶點(diǎn)消融)的激光銑削、切割、劃線(xiàn)和選擇性去除

3、在介質(zhì)中寫(xiě)入波導和微流體

4、對模式生物體內亞細胞進(jìn)行微納米手術(shù)的研究

5、加工材料表面微納米結構,用于制造傳感器和加工仿生材料

 

先進(jìn)性

    激光加工具有其他加工技術(shù)所沒(méi)有的優(yōu)點(diǎn),如不需要接觸(傳統機械加工)、無(wú)需昂貴的真空設備(X射線(xiàn)、電子束、離子束加工等)、可以加工致密材料和非平板材料、以及可加工透明材料內部等。而飛秒激光,因其具有很窄的脈沖寬度,與材料作用時(shí)熱影響區小,所以利用飛秒激光進(jìn)行加工具有很高的精度,可以滿(mǎn)足微納米加工的需求。本套飛秒激光三維加工系統為材料的微納米加工及研究具有微結構材料的特性提供了可能。
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